适用钢环尺寸:8 Inch
晶圆尺寸 :200mm(兼容Compatible with 150mm)
最大产能 :20WPH
SiC切割速度 :100mm/s
外形尺寸 : W2730×D2260×H2230 (mm)
KS-S200-2H1L 全自动SiC划片裂片一体机
适用钢环尺寸:8 Inch
晶圆尺寸 :200mm(兼容Compatible with 150mm)
最大产能 :20WPH
SiC切割速度 :100mm/s
外形尺寸 : W2730×D2260×H2230 (mm)
整机紧凑设计,占地面积小;
标准化单元尺寸,配置灵活;
高产能,切割速度快;
干法切割,无液体厂务需求;
断面平整,崩边、裂痕少;
无切口损失,更多可切割晶片数;